小型真空爐可用于真空淬火（回火、退火），即通過按工藝規程對材料或零件進行加熱、冷卻，以達到預期的性能。有多種規格型號，其有效區大小、裝爐量、加熱功率等各有不同，因此適用于有不同要求的領域。小型真空爐氣密性檢查的難點在于爐體面積大、管道復雜、易泄漏部位多，氣密性檢查應規范化、制度化。
真空爐漏氣檢測方法：
1、確定氣密性檢查的重點部位
這些重點部位一般包括：
1)設備維修時更換部分設備。檢修中移動過的爐體、管道等部位應作為重點檢查部位。
2)上蓋，底蓋，穿帶孔，檢查門打開。
3)進料密封輥縫。
4)爐殼及循環管、爐輥法蘭、換熱器法蘭、儀表法蘭及焊口等。
5)水冷溫度計，照相機，水冷熱交換器等.
6)分析儀取樣管接頭等等。
2、正壓部件檢驗
正常生產時，退火爐應保持微正壓150~300Pa。
1)判斷泄漏。觀察在線氧ppm分析儀測量數據，當某一段殘氧量突然明顯升高時，說明爐殼或循環管道可能發生泄漏。
2)泄漏點檢測方法與工具。工具室的氫氣探測器。方法是保證爐內含氫量大于3%，使用便攜式氫氣探測儀對經過確認的漏氣爐段氣密性進行檢查，重點部位為頂檢修焊縫等。當檢測到漏點位置時，探測器會發出報警信號。
3、檢查負壓部位
循環風機吸氣端為負壓，負壓發生泄漏時，空氣將被吸入爐內。
1)判斷泄漏。通過觀察在線分析儀測量數據的變化來判斷風機是否存在泄漏。
2)泄漏點檢測方法與工具。負壓泄漏點的檢查可采用上述方法，即把負壓轉換為正壓，然后用氫氣檢測儀檢測，或用專門用于負壓泄漏檢測的氦檢漏儀。
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