真空熱處理爐的真空系統選擇淺析

　　真空熱處理爐的熱效率高，可實現快速升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。一般來說，被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小。產品合格率高?？山档统杀?，有除氣作用，從而提高了工作的機械性能和使用壽命。工作環境好，操作安全，無污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。這一系列的優點，使得開發真空熱處理爐和工藝被越來越重視和應用越來越廣。

　　真空熱處理爐的真空系統選擇：

　　常用的真空配置有四種，一種是低真空配置，配置為機械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空度可達10 Pa左右；第二種是中真空配置，配置羅茨泵和機械泵（旋片泵或滑閥泵）組合，極限真空度能達到2C10-1 Pa；第三種是高真空配置，一般配置為擴散泵+羅茨泵+機械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空度可達到2R10-3 Pa；第四種是渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵（旋片泵或滑閥泵），極限真空度可達2F10-4 Pa。真空系統的選擇主要依據工作真空度而確定。